2023年7月1日，SEMICON China 2023 在上海新国际博览中心落下帷幕，史陶比尔首次亮相，凭借超洁净室版本机器人晶圆取放应用吸引了相当多的业内专家前来交流。

作为半导体行业产业链中的重要环节，晶圆制造是连接上游设计和下游应用的纽带。晶圆高敏感、高价值的特性，对其生产过程中的转运、储存环节提出了严苛要求。

此外，随着投资成本的不断攀升，如何在寸土寸金的晶圆厂提升生产空间的有效利用率，是各大厂家最关心的问题之一。

晶圆自动化存储新范式

史陶比尔机器人与合作伙伴 Fabmatics GmbH合作打造的 CubeStocker 晶圆自动化存储系统，身形紧凑，满足洁净室环境要求，拥有超高空间利用率，可容纳多达200个晶圆盒。

对寸土寸金的晶圆厂而言，有了 CubeStocker，晶圆生产过程中的存储用地成本焦虑，一扫而空。

FABMATICS

德国 德累斯顿

Fabmatics GmbH是半导体工厂、半导体加工厂和其他高科技生产环境中物料流和生产过程自动化方面的资深专家，致力于为高新技术行业提供智能前沿的自动化解决方案，助力生产物流更安全、更快速、更高效。

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自带洁净室的存储系统

CubeStocker 内部是一个洁净室环境（ISO 3）的空间，在下一个加工步骤前，保证暂时存储其中的晶圆保持绝对洁净，这为晶圆的生产提供了一个洁净的缓冲区。

CubeStocker 系统还自带清洁空气供应，可将宝贵的洁净室空间让位于晶圆生产设备，即便置于灰室环境（ISO 6）中，也能保证内部清洁度。

此外， CubeStocker 从“内部”组装，在其紧凑设计下，可将该系统置于狭小角落，节省晶圆厂宝贵的生产空间，同时保证200个晶圆盒的容纳量。

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以史陶比尔机器人为核心

CubeStocker 内部的自动化存取系统由两个垂直轴和一个史陶比尔六轴机器人组成：

经RFID技术识别后，晶圆盒进入 CubeStocker 系统，由机器人将其放置于存储位置。

晶圆的存储位置被提前设定，能最大限度地缩短机器人调试与维护时间，保证系统快速投入生产。

同时，史陶比尔 TX2-90XL SCR 六轴机器人作为 CubeStocker 系统的核心，在洁净度、可靠性、重复定位精度、安全搬运等方面都满足了敏感晶圆搬运的严苛要求：

晶圆高密度存取的最佳拍档

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小空间，大收益

得益于史陶比尔机器人的灵活安装方式，CubeStocker 内部紧凑，占地面积小；在史陶比尔JCM专利技术的保驾护航下，史陶比尔TX2-90XL SCR六轴机器人存取晶圆盒时，保持快速运行，将晶圆盒安全精准放置预定位置，平稳无颤动。

CubeStocker 小小的储存空间有着巨大的用武之地：
柔性化高密度存储方案，让不同类型的晶圆存储容器（FOUP、FOSB、OC）都能通过史陶比尔机器人，在 CubeStocker 内找到栖身之所。

显而易见的是，以史陶比尔机器人为核心的 CubeStocker 存储系统，在满足洁净室条件下高密度存储晶圆需求的同时，有效活化生产设备周围可用空间，节省存储用地面积，为晶圆厂提供了既能解决存储空间不足问题，又能实现降本增效目标的全新思路。

想了解史陶比尔机器人在半导体行业的应用？