灰尘、花粉、悬浮物、气溶胶……在1m³的空气中可以测量到多达1000万个异物颗粒。而在半导体生产中，高度洁净的环境对产品的质量和性能至关重要，每一个微粒都可能损害微芯片的功能。

根据 ISO 洁净室等级，半导体生产环境中每立方米空气中记录的颗粒尺寸仅为 20-30 µm。

史陶比尔在半导体行业拥有长久的历史, 积累了大量的洁净室相关经验，深知洁净度对半导体行业的重要性：

用于生产半导体的设备本身也必须在洁净室条件下制造。

例如，完整的光刻机系统的重量可能超过100吨，因此还必须保证所有系统组件在装配过程中可以洁净地进行运输。

史陶比尔 WFT 与两家知名半导体生产设备制造商合作，为其定制洁净版重载AGV，用于在洁净室里搬运重达24 吨的光刻机设备部件。

融入洁净室生产环境

与传统应用场景不同，在半导体设备生产的洁净室环境中引入AGV，与流程的连续性和自动化无关。

引入AGV 的目的在于限制设备与人员的接触，降低潜在污染源。

由于AGV不会离开生产区域，因此它也不会引入其他细小颗粒。而起重机会存在掉落磨损碎片的风险，所以重型设备及其组件都必须沿着地面来进行运输。

在为两家知名半导体生产设备制造商定制洁净版AGV的过程中，史陶比尔WFT积累了大量经验，大到外壳材料，小到电缆护套必须经过退火或涂层覆盖的表面处理等工艺。

独立洁净室生产车间内，装配人员经过专业训练，穿着洁净室服装并使用洁净室兼容的工具进行装配。

开辟洁净室AGV专用生产区

为了满足半导体行业的严格需求，史陶比尔WFT为其 AGV 建立了专用的洁净室生产基地。清洁的 AGV 部件、受控气流和特定的洁净室服装是构建洁净室AGV内部流程的一部分。

想在洁净室引入AGV的客户向我们提供了非常全面的清洁度规范。许多所需的材料已经过测试，此外，一些材料（通常是塑料）未在规范中列出，我们会对其进行广泛的测试。

——史陶比尔 WFT 项目经理 Fabian Forster

这些测试包括在产品生命周期内的释气性以及在AGV运行过程中可能引起的磨损，每个测试都会被详细记录，从而最大限度降低颗粒物的排放。

成熟可靠的AGV产品

事实证明，史陶比尔WFT 成熟的AGV产品为客户在洁净室内实现昂贵部件搬运提供了可靠保障：

史陶比尔WFT AGV最高有效负载可达450吨，产品融合了独特的全向驱动专利技术，可提供差速运动、全向运动两种不同移动方式，在狭小拐角独具优势。

机身紧凑实用，采用可扩展的模块化设计，易于维护，可根据不同的应用场景及客户需求更改配置。