在月初举办的CeMAT亚洲物流展上，新聚力正式发布半导体AMHS系统，引发广泛关注（详见《新聚力发布半导体AMHS系统，闪耀CeMAT亚洲物流展》）。现场，不少客户对系统三大核心设备天车搬运系统（OHT）、高速塔式提升机（Tower）、线边密集库（Stocker）展现出浓厚的兴趣——酷炫飞驰的空中“飞车”，起落平稳的高耸“直梯”，井然有序的立体“仓库”，正是晶圆片高速稳定搬运的关键所在。

OHT 天车搬运系统 ✦

智能自动搬运，“其疾如风”

核心优势

依据车间布局，灵活架设循环式空中轨道，不占地面空间，有效节约资源

集成多种高精度传感器，在保证振动小于0.5G的重要参数前提下，突破5m/s直线运行速度，大幅减少物料传输时间，提升传输效率

无人化自动搬运，减少人工粉尘来源，降低人员失误及晶圆污染的风险，保障产品良率

通过CIM系统实现智能调度，确保物料运输的最优路径，显著提升库存周转率，同时，可对整厂物料进行全流程追溯，促进精益化质量管理

应用范围

涵盖国内外6-12英寸晶圆厂，适用于FOUP、SMIF Pods、Maks FOUP等

Tower 高速塔式提升机 ✦

高效灵活输送，“极致丝滑”

核心优势

自研双臂独立控制多层取料技术，可同时响应多种传输需求，无缝对接AGV/CV/STK等自动化设备，提升跨楼层晶圆传送效率

精密电机驱动，最高5m/s提升速度，可在短时间内输送大量物料，同时确保高平稳度、高准确度

配有过载保护、断电保护、紧急停止等多种防护装置，确保设备稳定运行，人员作业安全，物料完好无损

应用范围

涵盖国内外6-12英寸晶圆厂，适用于OHT-FOUP、SMIF Pods等

Stocker 线边密集库 ✦

多层立体存储，“稳稳的幸福”

核心优势

多层垂直布局，占地面积小，空间利用率大，单位面积存储量高

物料抓取防晃动设计，定位精度高，存取准确稳定，不易损伤

实时联动CIM系统，监测反馈物料状态，缩短物料等待时间，减少库存积压及成本浪费，实现精细化管理

应用范围

涵盖国内外6-12英寸晶圆厂，适用于FOUP、SMIF Pods、Maks FOUP等

半导体AMHS系统是晶圆制造传输的“大动脉”，它以OHT为核心，以智能控制系统为中枢，通过先进算法完成动态调度，使珍贵而精密的晶圆片按既定路径循环输送、存储、净化，保障其稼动率、一致性、良率等关键生产指标，实现半导体晶圆厂大规模量产条件下的无尘自动搬运。

从工艺迭代到技术创新，从数据积累到模拟仿真，从“摸着石头过河”到关键技术完全自主可控，新聚力成功打造出的一系列高性能AMHS设备，已能够实现部分国产替代，不仅满足了国内外客户的多元化、定制化需求，更证明了国产AMHS设备的成熟度与竞争力，期望为实现AMHS系统的全面国产化作出更大贡献。

未来，新聚力将全面对标行业领先水平，加深技术积累与经验沉淀，通过研发创新持续提升产品性能，确保国产AMHS系统在实际应用中的稳定性、安全性、可靠性及高效能，为半导体制造业物流提供有力支撑，助力行业智能化、数字化、绿色化发展。