走进客户200mm晶圆生产现场,几台捷螺四槽位200mm Open Cassette AMR正与200mm Box Stocker默契配合,自动开盒、取放、转运……晶圆载具在设备与仓储之间流畅流转,几乎看不到人工干预。
目前,该工厂已导入多台捷螺AMR及多台Stocker,同时覆盖200mm和300mm产线,并持续稳定运行。
项目初期,部分设备不具备 SEMI E84通信接口,导致AMR与设备之间无法直接“对话”,自动对接受到影响,搬运时间较长。
针对这种情况,捷螺团队迅速给出针对性方案:
自研 E84 接口模块,为不具备标准接口的设备补齐通信能力,让 AMR 与设备、Stocker 之间实现信号对接;
接入 MCS(Material Control System),统一管理所有搬送任务与库存状态;
引入 RTD(Real-Time Dispatcher),根据设备状态、AMR 位置、任务优先级,动态规划最优搬送路径与时机。
三者联动后,AMR 不再“单打独斗”,对接效率大幅提升,搬送时间显著缩短,产线流转更加顺畅。
经过多轮调优,该套系统已全面融入客户量产节奏。整套系统稳定运行于客户24×7量产产线,实现高效率、高稳定性的自动化搬送。
每个晶圆厂的设备配置、工艺路线、洁净室布局都不尽相同。
因此,我们提供的不是单一产品,而是提供从设备接口、控制系统、调度系统到整体自动化规划的完整解决方案,帮助每一座工厂真正迈入高效、可靠的智慧搬运时代。