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川崎TTS系列机器人
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川崎TTS系列机器人

TTS系列可以用一台机器人在没有走行装置的情况下对应从2FOUP到3FOUP的EFEM。具备川崎自主开发的驱动部分，能够实现高精度、高刚性的动作。 同时，由于采用了上下轴伸缩式的结构，因此无论是想将物品搬至高处或是低处，此设备都能做到。

￥0.00
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重量：0.000KG
商品描述

TTS系列可以用一台机器人在没有走行装置的情况下对应从2FOUP到3FOUP的EFEM。具备川崎自主开发的驱动部分，能够实现高精度、高刚性的动作。 同时，由于采用了上下轴伸缩式的结构，因此无论是想将物品搬至高处或是低处，此设备都能做到。

TTS系列机器人规格

项目 标准 选项
型号 TTS10 TTS20 -
构造 水平多关节型、伸缩水平多关节型 -
臂 单手臂 双手臂 -
自由度(轴) 4 5 -
动作范围 θ1轴 (旋转・JT2) (°) 340 -
Z轴 (上下・JT3) (㎜) 740 -
θ2轴 (旋转・JT4) (°) 340 -
H1轴 (旋转・JT6) (°) 340 -
H2轴( 回転・JT7) (°) - 340 -
最大臂展 (mm) 1,066 -
重复性 (mm)✽1 ±0.1 (晶圆中心) -
无尘度✽2 ISO1级 -
抓手规格✽3 - - 边缘夹持式 / 真空吸附式
控制柜 D60 示教器
分离电缆(1-5m)✽4 操作盒
软件 标准软件 KRET
KMTerm KR3D
KSUtility Lite KSUtility
手册 使用说明书 -
通信说明书 -
通用软件 (K-Fast) 导入说明书 -
否则 - 校准器
- 测绘传感器
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