[企业动态] 高效运转丨史陶比尔AGV应用于陆上风电机组装配线
2024-05-14
[企业动态] LogiMAT China 2024完美收官,兰
[企业动态] 万里挑一!Kinco步科荣获“深圳知名品牌&湾区
[企业动态] 坤厚智能乔迁新厂 再启华章
[企业动态] 德马泰克邀您青岛相聚——第64届全国制药机械博览
[企业动态] 德马泰克!这家千亿药企实现“产能自由”只需这一
[企业动态] 助力新能源储能行业智能化工厂建设 | 欧米麦克自
[518原创] 以数智驱动新生产力——立嘉国际智能装备展重庆开幕
2024-05-13
[企业动态] 展会邀请 | 广州LET展即将开幕,海康机器人重
[企业动态] 锋馥物流系统如何助推鞋服企业智能化发展?
由于300mm半导体 Fab工程复杂,而且根据制程不同布局一般分布式布局各个工艺制程,集中式分部同种类型设备,各个工艺间或设备之间的工程时间(Process time)不同,因此在完成整个工艺制程之前,需要很多的线边缓存WIP(Work In Process)被储存在Fab内。来使各工艺设备达到最高效率的最大生产能力。 Stocker System 不仅具有储存功能,为了和其他自动化设备更好的连接,具备OHT和 ARV的自动对接口以及人工上下料口。来兼容人工和其他自动化设备的出入库功能。随着纳米制程的微量化的发展,为了防止载具内的 Wafer污染,还采用N2 Purge功能,隔绝氧气,控制湿度,保护载具内的晶圆安全。
同时stocker的设计上遵守Cleanroom Standard(FED-209E) 和 SEMI E88(Stocker SEM) Standard。
由于300mm半导体 Fab工程复杂,而且根据制程不同布局一般分布式布局各个工艺制程,集中式分部同种类型设备,各个工艺间或设备之间的工程时间(Process time)不同,因此在完成整个工艺制程之前,需要很多的线边缓存WIP(Work In Process)被储存在Fab内。来使各工艺设备达到最高效率的最大生产能力。 Stocker System 不仅具有储存功能,为了和其他自动化设备更好的连接,具备OHT和 ARV的自动对接口以及人工上下料口。来兼容人工和其他自动化设备的出入库功能。随着纳米制程的微量化的发展,为了防止载具内的 Wafer污染,还采用N2 Purge功能,隔绝氧气,控制湿度,保护载具内的晶圆安全。 同时stocker的设计上遵守Cleanroom Standard(FED-209E) 和 SEMI E88(Stocker SEM) Standard。
服务热线
联系电话:135-1272-6426 188-0319-7535
座机:0319-7596975