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SMIF是一种晶圆装载与检测集成装置,适用于6寸和8寸晶圆盒的自动开关盒,效率高,稳定性好,重复定位精度高,洁净等级为Class1;具有兼容150mm和200mm晶圆的mapping功能,能自动检测盒内各槽晶圆状态,例如单片、跨片;具有开盒时自动识别盒内晶圆尺寸的功能,更加便于使用;具有灵敏的晶圆滑出保护功能,可以自动监测盒内异常状况,有效保护晶圆;具有实时检测的机械手互锁和光栅互锁功能,可以有效保护机械手以及人身安全;具有RFID读取功能。新松SMIF为全流程中国大陆自主设计制造,推动了国内半导体产业链的进步,有效的支撑了国内半导体设备的发展。
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